项目概况
东南大学集成电路学院高密度等离子体深槽刻蚀机采购 招标项目的潜在投标人应在微信公众号“苏美达达天下”获取招标文件，并于2024年12月13日 14点00分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：0664-2440SUMECZF110（SEU-ZB-240911）
项目名称：东南大学集成电路学院高密度等离子体深槽刻蚀机采购
预算金额：1000.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：970.000000 万元（人民币）
采购需求：
高密度等离子体深槽刻蚀机1台，主要技术要求如下:
1、高密度等离子体深槽刻蚀机一台，需实现对碳化硅、氧化镓和金刚石的刻蚀工艺，对于不同的待刻材料，只需更改工艺菜单，无需更换设备主要零部件；
2、各个刻蚀工艺腔分别实现碳化硅刻蚀需求、氧化镓刻蚀需求和金刚石刻蚀需求，配置工艺气路不允许包含HCl和Cl2，MFC流量可调；
3、设备需采用全自动传片平台，至少包括：接口数量6个，预真空室数量2个，VCE数量2套，刻蚀工艺腔数量3个。传片平台配置自动化双臂机械手，可同时操作2片晶圆。配有2个oes、1个iep 自动工艺终点检测模块。
最高限价：人民币970万元整（境外产品最高限价970万元整，不含外贸代理费），超过最高限价的为无效投标文件。
本项目接受进口产品。
本项目所属行业：工业。
合同履行期限：境外产品：开具信用证后10个月设备安装调试合格。境内产品：合同签订后10个月设备安装调试合格。
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
本项目若符合扶持福利企业、促进残疾人就业、支持中小微企业、支持监狱和戒毒企业等政策， 将落实相关政策。
3.本项目的特定资格要求：（1）供应商必须是所投产品的制造商或代理商，若投标人不是投标产品制造商的，投标人必须具有下列授权文件之一（本条只适用于进口产品）：a.供应商必须提供制造商出具的授权函正本； b.制造商的国内全资子公司出具的授权函正本； c.制造商对授权的区域代理商出具的授权函复印件及该区域代理商出具的授权函正本； d.投标人取得的产品代理证书复印件(正本备查)。4.拒绝下述供应商参加本次采购活动：（1）供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。（2）凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本项目的采购活动。（3）供应商被“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、“中国政府采购网"(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。
三、获取招标文件
时间：2024年11月22日 至 2024年11月29日，每天上午9:00至11:00，下午14:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）
地点：微信公众号“苏美达达天下”
方式：在线获取（详见补充事宜）
售价：￥400.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：2024年12月13日 14点00分（北京时间）
开标时间：2024年12月13日 14点00分（北京时间）
地点：南京市长江路198号苏美达大厦辅楼304会议室
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定：
（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照，自然人的身份证明）；
（2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供参加本次政府采购活动前半年内（至少一个月）的会计报表或者上一年度的财务审计报告，成立不足一年的提供开标前六个月内的银行资信证明原件。）；
（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（根据项目需求提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料）；
（4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供参加本次政府采购活动前半年内（至少一个月）依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料）；
（5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供参加本次政府采购活动前3年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明）。
（6）法律、行政法规规定的其他条件。
2.在线获取采购文件操作流程如下：
（1）用微信关注我司公众号“苏美达达天下”。
（2）进入公众号-“在线服务”-“在线购标”。
（3）输入本项目的项目编号0664-2440SUMECZF110，点击查询。添加您所要获取的采购文件到购物车，输入投标单位名称、领购人信息以及发票信息，提交订单并确认微信支付，支付完成后，经确认信息无误后采购文件电子版将发送至领购人邮箱。
注意事项：
（1）确保领购人邮箱真实准确无误，电子版采购文件将发送到此邮箱。
（2）采购文件发票仅提供增值税普通（电子）发票，开出后发送至领购人邮箱。
（3）“苏美达达天下”付款平台填写的投标单位名称必须与开票信息一致。如不一致投标人自行承担后果。请认真填写领购人信息及发票信息。
（4）非采购代理机构或平台公司原因，采购文件发票一经开具不予退换，请谨慎填写。
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：东南大学
地址：南京市玄武区四牌楼2号
联系方式：技术咨询：东南大学：刘老师 电话：13961843249； 实验室与设备管理处：刘老师 电话：025-83792693
2.采购代理机构信息
名 称：苏美达国际技术贸易有限公司
地 址：南京市长江路198号苏美达大厦8F
联系方式：邓梦诗025-84531619、杨扬025-84532455
3.项目联系方式
项目联系人：邓梦诗、杨扬
电 话： 025-84531619、025-84532455